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综述了用于集成电路和半导体分立器件的半导体材料的现状和发展趋势。
面向21世纪的半导体材料
【摘 要】
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综述了用于集成电路和半导体分立器件的半导体材料的现状和发展趋势。
【机 构】
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中国电子材料行业协会,中国电子材料行业协会
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2002年3期
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