【摘 要】
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为了探究在脉冲激光辐照VO2薄膜过程中,影响薄膜相变响应时间的因素,基于COMSOL对辐照过程进行仿真计算.建立辐照VO2薄膜的物理模型,并设置模型的边界条件,利用红外脉冲激光
【机 构】
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国防科技大学电子对抗学院脉冲功率激光技术国家重点实验室
【基金项目】
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国家杰出青年科学基金(No.61405248)和脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金(No.SKL2013ZR03)资助
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为了探究在脉冲激光辐照VO2薄膜过程中,影响薄膜相变响应时间的因素,基于COMSOL对辐照过程进行仿真计算.建立辐照VO2薄膜的物理模型,并设置模型的边界条件,利用红外脉冲激光辐照三组通过分子束外延法制备的VO2薄膜,间接得到了薄膜平均吸收率,并将吸收率实验数据带入计算模型中.在仿真计算中,考虑了激光的功率密度.薄膜基底厚度和薄膜初始温度等因素对仿真结果的影响.实验结果表明:增大激光功率密度和初始温度.减小基底厚度均可缩短薄膜辐照中心相变时间,并且相变时间和激光功率密度呈指数衰减趋势.5000W/mm2的
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