SOI集成光电子器件

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zkc19890314
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Silicon-on-insulator(SOI)集成光电子器件的工艺与标准CMOS工艺完全兼容,采用SOI技术可以实现低成本的整片集成光电子回路。文章回顾了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展。
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