【摘 要】
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本文介绍一种入射光波长为0.53μm并可承受较高激光功率的声光扫描器.文中给出了器件设计考虑及基本参数的计算.在此基础上完成了0.53μm声光扫描器的最佳设计.实验结果表明,
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本文介绍一种入射光波长为0.53μm并可承受较高激光功率的声光扫描器.文中给出了器件设计考虑及基本参数的计算.在此基础上完成了0.53μm声光扫描器的最佳设计.实验结果表明,该器件性能稳定,设计合理,峰值衍射效率～80%,4dB带宽60MHz,扫描角～3°,可分辨点数大于300,器件所能承受的最大脉冲激光功率为0.2MW/mm~2.
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