【摘 要】
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文章利用化学气相沉积法在铜样品表面涂覆派瑞林（Parylene C）涂层，研究了工艺参数对Parylene C涂层沉积速率的影响。扫描电镜形貌分析结果显示，制备的Parylene C涂层具有良好的连续性。利用电化学工作站测定了Parylene C涂层的表面电阻并推测其抗腐蚀性，并对比了光辐照对涂层电极电位的影响，结果表明：Parylene C涂层对金属绝缘防护能力很强，可见光波段辐照对涂层电极电位
【基金项目】
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齐齐哈尔市科技计划创新激励项目（CGYGG-2021001）；
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文章利用化学气相沉积法在铜样品表面涂覆派瑞林（Parylene C）涂层，研究了工艺参数对Parylene C涂层沉积速率的影响。扫描电镜形貌分析结果显示，制备的Parylene C涂层具有良好的连续性。利用电化学工作站测定了Parylene C涂层的表面电阻并推测其抗腐蚀性，并对比了光辐照对涂层电极电位的影响，结果表明：Parylene C涂层对金属绝缘防护能力很强，可见光波段辐照对涂层电极电位的影响较小，在大湿度盐雾环境中，Parylene C涂层能够保证金属导体间的良好防潮绝缘性能。
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