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本文介绍了采用无格点Kinetic Monte Carlo(KMC)方法,模拟TiN薄膜在TiN(001)基底表面上外延生长的仿真结果.在此无格点KMC方法中,使用了Dimer算法在势能面中搜索鞍点和低能盆底.仿真的结果证实,此无格点KMC方法对于仿真二元薄膜外延生长是有效的.本文中还讨论了无格点KMC的计算量问题、运算过程中Dimer的初始位置问题和势能面中浅盆底问题.