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在介绍宽光谱膜厚监控原理和评价函数的基础上,重点介绍系统硬件和软件组成,最后给出该仪器的实验结果并对其精度进行分析.
宽光谱膜厚监控仪的研制
【摘 要】
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在介绍宽光谱膜厚监控原理和评价函数的基础上,重点介绍系统硬件和软件组成,最后给出该仪器的实验结果并对其精度进行分析.
【机 构】
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上海理工大学光电学院(上海)
【出 处】
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第十一届全国薄膜学术交流会
【发表日期】
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2001年11期
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