薄膜钝化过程研究方法及其应用

来源 :北京科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yyl273518021
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根据传统擦伤电极试验原理,自行设计了一套用于薄膜材料钝化过程研究的装置,由于它采用的是断裂方式产生裸表面,因而克服了传统擦伤方式裸表面逐渐暴露于介质的弱点,能直接测量到真实反映钝化过程的电流衰减曲线。利用这套装置对磁控溅射晶态与非晶态不锈钢合金薄膜在3.5%NaCl溶液中的钝化过程进行了比较研究,结果表明非晶薄膜的裸表面具有更高的反应活性及更快的钝化膜形成速度。 According to the traditional abrasion electrode test principle, a set of device designed for the passivation process of thin film material was designed by itself. Because it uses a broken surface to produce a bare surface, it overcomes the weakness of the exposed surface exposed by the conventional method. It can directly measure the current decay curve that reflects the passivation process. The passivation process of magnetron sputtering amorphous and amorphous stainless steel alloy thin films in 3.5% NaCl solution was compared by this device. The results show that the surface of the amorphous film has higher reactive activity and Faster passivation Film formation speed.
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