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<i>In-Situ</i>Monitoring of Chemical Vapor Deposition from Trichlorosila

来源 :表面工程材料与先进技术期刊(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：n62315942
【摘 要】
：
Using the langasite crystal microbalance (LCM), the trends in film thickness produced by means of the chemical vapor deposition using trichlorosilane gas, monom
【作 者】
：
Hitoshi Habuka Yurie Tanaka 
【机 构】
：
DepartmentofChemicalandEnergyEngineering
【出 处】
：
表面工程材料与先进技术期刊(英文)
【发表日期】
：
2013年1期
【关键词】
：
Chemical Vapor Deposition IN-SITU Measurement LANGASITE CRYSTAL MICROBALANCE Che 
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Using the langasite crystal microbalance (LCM), the trends in film thickness produced by means of the chemical vapor deposition using trichlorosilane gas, monomethylsilane gas and their mixed gas were observed at 600?C and evaluated by comparison with the
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