直流偏置对PZT微传感器的谐振频率的影响

来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hnldlxz

【摘要】

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在直流偏置电压对PZT压电微悬臂梁谐振频率的影响研究中,建立了理论方程,并通过激光干涉测试实验对所建方程进行了验证.理论方程和实验均表明:直流偏置电压对PZT微悬臂梁的谐

【作者】

：

王军军周嘉黄宜平

【机构】

：

复旦大学

【出处】

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传感器技术

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

直流偏置电压锆钛酸铋谐振频率 DC voltage PZT(Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3) resonant frequency

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在直流偏置电压对PZT压电微悬臂梁谐振频率的影响研究中,建立了理论方程,并通过激光干涉测试实验对所建方程进行了验证.理论方程和实验均表明:直流偏置电压对PZT微悬臂梁的谐振基频的影响是二阶函数.在直流偏置电场小于1×107 V/m时,直流偏置电压和谐振基频存在线性变化区.此结论可以用于改善谐振式PZT微悬臂梁传感器的信号检测系统,即利用扫描直流偏置电压取代频谱分析.

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