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采用溶胶凝胶（Sol—Gel）法，在LaNiO3包覆的SiO2／Si衬底上采用不同退火工艺制备了BiFeO3薄膜。原子力显微镜研究表明，薄膜表面光滑，并由不同大小的晶粒组成。X-射线表明不同样品结晶程度不同，并根据不同的退火工艺分别呈（010）择优取向和随机取向。2种取向的薄膜的双剩余极化强度分别为2．84uC／cm^2和2．56uC／cm^2。择优取向的薄膜在低频下的介电常数和介电损耗较大，且其薄膜中观察到大漏电流。并对两薄膜的导电机制用空间电荷限制的电导理论进行了分析。