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简述了等离子体聚合六甲基二硅氧烷在聚酰亚胺(Kapton)上制备防原子氧涂层的试验结果,借助红外和 X-射线光电子谱等光谱分析手段分析了涂层的化学组成、结构和性能。结果表明:保护涂层不显著改变 Kapton 原有的光学性能。在氧等离子体作用后,有保护涂层的 Kapton 的质量无可测量的变化,其光学性能变化不明显。说明这种膜可以有效地保护 Kapton 不受氧等离子体作用,具有优异的防原子氧性能。