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用双扩散法制备了特高频电调谐变容管。本文就器件设计、工艺调整方面论述了它的主要电性能。通过变量分析方法使器件电参数调整到设计指标。并指出提高Q值是当前变容管的一个重要研究课题,讨论了具体的途径和办法。最后介绍一种应用实例。
特高频电调谐变容管及其应用
【摘 要】
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用双扩散法制备了特高频电调谐变容管。本文就器件设计、工艺调整方面论述了它的主要电性能。通过变量分析方法使器件电参数调整到设计指标。并指出提高Q值是当前变容管的一
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1983年01期
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