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为改善高深宽比金属微结构的电铸成型质量，采用有限元方法分析微细电铸的电场和流场的分布特点，及搅拌方式、电场和流场分布对微细电铸质量的影响。研究表明：搅拌对电铸区域的影响只集中在微区的入口部分，深度小于55μm，扩散过程成为金属沉积的限制性因素；电力线曲率随电铸深宽比增大而提高，导致电铸微区内金属离子传输能力不均匀。微细电铸过程中，搅拌速度提高并不能改善金属沉积的传质条件；辅助超声的复合搅拌在相同条件下能提高金属沉积速度，减少铸层缺陷、改善传质。实现了表面光滑、侧壁陡直的金属微结构的电铸成型。