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针对微空心阴极放电（MHCD）装置，通过在氩气中添加少量氮气，分析氮分子第一正带系N2（B3ΠgA3＋u）发射光谱的方法测量了MHCD中的气体温度，通过氩气中混有的少量氢气，分析Hβ谱线Stark加宽得到电子数密度。研究表明，MHCD在极小的体积和很高的功率密度下维持放电，致使发生了明显的气体加热现象，气体温度可高于700 K，并且随着放电室压强和放电电流呈有规律的变化，具有较好的可控性，电子数密度的量级为1014～1015 cm^-3。通过对不同条件下等离子体特性参数的诊断和分析，得到了其量级和变化规律