【摘 要】
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详细分析了马达定子中旋转波(行波)的形成机理及其主要特征(包括动能、势能和角动量等),论述了定子-转子交界面粒子椭圆振动的形成,表明压电马达定子中的波不同于传统的驻波
【机 构】
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中国科学院上海冶金所传感技术国家重点实验室; 中国科学院上海冶金所传感技术国家重点实验室 上海 200050; 上海 200050;
【基金项目】
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国家攀登计划B“微电子机械系统”资助项目
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详细分析了马达定子中旋转波(行波)的形成机理及其主要特征(包括动能、势能和角动量等),论述了定子-转子交界面粒子椭圆振动的形成,表明压电马达定子中的波不同于传统的驻波和行波,而是被人称之为第三种波——旋转波。同时,也预示了压电定子中旋转波产生同电极设置和外界激励方式的关系。讨论了定子的固定方式。根据这一理论,研制出了由位相差为90°的双功率源驱动的压电旋转波马达,外加电压10 V时,马达的最高转速可达100 r/min。
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