【摘 要】
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IC即集成电路是未来信息世界的主要物质基础之一.它自1960年前后在Si平面技术基础上发明以来,先后经历了小、中、和大规模电路(即SSI,MSI和LSI)以及当前的超大、超高速集成电
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IC即集成电路是未来信息世界的主要物质基础之一.它自1960年前后在Si平面技术基础上发明以来,先后经历了小、中、和大规模电路(即SSI,MSI和LSI)以及当前的超大、超高速集成电路(即VLSI,VHSIC)阶段.为了适应这种飞速的演变,其可靠性技术也相应由分立器件的统计失效发展成为以控
IC, one of the major material foundations of the information world in the future, has undergone the development of small, medium and large scale circuits (SSI, MSI and LSI) since 1960 and was based on Si planar technology, (VLSI, VHSIC) phase.In order to adapt to this rapid evolution, the reliability of the corresponding technology has also been developed from the statistical failure of discrete devices to control
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