论文部分内容阅读
系统地研究了玻璃浆料在低温下气密封装MEMS器件的过程。采用该工艺(预烧结温度400℃,烧结温度500℃,外加压强3kPa)形成的封装结构具有较高的封接强度(剪切力>15kg)及良好的气密性(气密检测合格率达到85%),测得的漏率符合相关标准。
玻璃浆料低温气密封装MEMS器件研究
【摘 要】
：
系统地研究了玻璃浆料在低温下气密封装MEMS器件的过程。采用该工艺(预烧结温度400℃,烧结温度500℃,外加压强3kPa)形成的封装结构具有较高的封接强度(剪切力>15kg)及良好的
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
：
功能材料与器件学报
【发表日期】
：
2005年03期
其他文献
从方阻值谈自愈式低压并联电容器元件的设计和改进国营第７９４厂（鹤壁４５８０００）马野自愈式低压并联电容器（以下简称电容器）由于具有自愈性、体积小、重量轻、损耗低、价格廉及安装方便等优点，目
黄土高原地区是我国强震的多发区,岷县漳县Ms6.6级地震震后科学考察发现,极震区局部场地覆盖层厚度和地形条件对地震动有明显放大效应。本文以岷县漳县6.6级地震极震区为研究
电容式电压互感器(以下简称CVT)近几年在国内发展很快，制 造和使用 越来越广泛。电力部门的用户对CVT的电气性能、结构和外观质量等要求亦愈来愈高。对制 造厂家来说，一方面要
<正>英威达正进入其位于维多利亚工厂2.5亿美元项目的最后设计阶段,以升级其己二腈(AND,是生产尼龙66纤维和塑料的关键原料)的制造技术和产能。该项目的建设预计将于2019年第
黑龙江省龙江县解放公社五里堡一队,1965年对91亩小麦实行了灌溉,其中15亩亩产达到516.6斤,比没有灌溉条件的邻近大队增产3.4倍。这个队灌溉小麦已有三年历史,年年大幅度增产