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对ＬＬ－ＰＣＶＤ进行了计算机控制的改进，改进后的设备在沉积过程中各路源气体可进行自动控制。在改进后的设备上采用逐层生长法制备了ｎｃ－Ｓｉ：Ｈ薄膜。讨论了关键的技术问题。
计算机控制的PCVD系统
【摘 要】
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对ＬＬ－ＰＣＶＤ进行了计算机控制的改进，改进后的设备在沉积过程中各路源气体可进行自动控制。在改进后的设备上采用逐层生长法制备了ｎｃ－Ｓｉ：Ｈ薄膜。讨论了关键的技术问题。
【机 构】
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山东建材学院机械工程系
【出 处】
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山东建材学院学报
【发表日期】
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1996年3期
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