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鉴于以往微放电结构存在效率较低和放电均匀程度差的问题,提出一种基于介质阻挡放电（DBD）的新型微等离子体放电结构,该放电结构采用微腔网格形状电极。通过建立放电前后的等效模型,推导出放电功率公式,进行放电功率的影响因素分析实验,研究其电气特性及匹配电源问题。实验结果和理论分析基本吻合。随着电源电压和频率的增加,放电功率非线性增加。同时,放电效率较网-板、板-板结构DBD增加明显,传输电荷较网-板、板-板分别提高了11%和20%左右。