一种激光干涉仪外部测量触发电路

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【摘要】

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0引言激光干涉仪因其具有较高的测量精度而被广泛地应用.在使用激光干涉仪(以Agilent 5529A激光动态干涉校准仪为例)测量工件的实际尺寸(长度)时,需要用测头去探触工件,以取

【作者】

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刘宁

【机构】

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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

【出处】

：

计测技术

【发表日期】

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2005年4期

【关键词】

：

激光干涉仪测量精度触发电路实际尺寸触发装置工件校准仪测头

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0引言激光干涉仪因其具有较高的测量精度而被广泛地应用.在使用激光干涉仪(以Agilent 5529A激光动态干涉校准仪为例)测量工件的实际尺寸(长度)时,需要用测头去探触工件,以取得工件的实际位置,因此需要有一触发装置,来感知测头是否探触了工件.本文设计了一个触发电路,能够使激光干涉仪实现这一功能.

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