反应气压对MWPCVD金刚石膜中非金刚石相碳含量的影响

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：biantaitai

【摘要】

：

在水冷反应室式MWPCVD装置中以CH4 和H2 为反应气体进行了金刚石膜的沉积实验 ,研究了反应气体的压强对金刚石膜中非金刚石碳相含量的影响。实验发现 ,当微波输入功率较小时

【作者】

：

舒兴胜邬钦崇梁荣庆

【机构】

：

中国科学院等离子体物理研究所

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

2001年02期

【关键词】

：

微波等离子体化学气相沉积金刚石膜气压非金刚石相碳含量

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在水冷反应室式MWPCVD装置中以CH4 和H2 为反应气体进行了金刚石膜的沉积实验 ,研究了反应气体的压强对金刚石膜中非金刚石碳相含量的影响。实验发现 ,当微波输入功率较小时 ,随着反应气压的上升 ,沉积膜中非金刚石相碳的含量单调下降 ;当微波输入功率较大时 ,沉积膜中非金刚石相碳的含量先随着反应气压的上升而降低 ,后又随着反应气压的上升而稍稍增加

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