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在分析半导体制造过程中不同工艺产生的环境污染问题的基础上 ,讨论了半导体制造业开展清洁生产的原则和途径 ,介绍了一些成功的清洁生产方案。
半导体制造业的环境污染与清洁生产
【摘 要】
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在分析半导体制造过程中不同工艺产生的环境污染问题的基础上 ,讨论了半导体制造业开展清洁生产的原则和途径 ,介绍了一些成功的清洁生产方案。
【机 构】
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清华大学环境科学与工程系!北京100084;
【出 处】
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环境保护
【发表日期】
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2004年期
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