【摘 要】
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原子力显微镜(AFM)是一种表征样品表面的物理化学信息的精密仪器,高精度微动扫描平台是整个测量与表征系统的关键部件,其性能直接影响整个测量系统的性能,因此对原子力显微镜
【机 构】
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中北大学电子测试技术重点实验室,太原 030051;中北大学仪器与电子学院,太原 030051
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原子力显微镜(AFM)是一种表征样品表面的物理化学信息的精密仪器,高精度微动扫描平台是整个测量与表征系统的关键部件,其性能直接影响整个测量系统的性能,因此对原子力显微镜的高精度微动扫描平台进行研究具有重要意义.为使高精度微动扫描平台实现毫米级的行程以及具有台面步进和扫描位移误差达到纳米级的精度,分别对平台上的剪切型压电位移平台和压电陶瓷扫描器进行了结构设计与仿真分析,并搭建实验系统,通过对平台进行测试实验验证,设计的原子力显微镜的高精度微动扫描位移平台剪切型压电陶瓷步进间距和压电陶瓷管扫描器的扫描位移误差为纳米级,分析结果显示该平台符合设计要求.
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