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本文建立了半导体制冷器的实际模型,讨论了界面接触效应对不同尺度半导体制冷器性能的影响,并对比分析了接触热阻、接触电阻、冷端温度等对制冷效率和单位面积制冷量的影响.研究发现:接触热阻对半导体制冷器性能的影响比接触电阻大,且界面接触效应对薄膜型半导体制冷器件性能的影响不可忽视.在设计高效率半导体制冷器时,应尽量优化其界面接触效应,并减少接触热阻.