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通过在1050和1150℃包埋Si—Y共渗5—20h的方法在铌基超高温合金上制备抗氧化涂层，对涂层结构、相组成和形成过程进行了分析．结果表明：涂层主体为（Nb，X）Si2（X=Ti，Cr，Hf），向内依次为（Nb，X）5Si3过渡层和富Al扩散区；不同共渗条件下制备的涂层具有相似的结构，涂层生长的动力学曲线符合抛物线规律．能谱的半定量分析表明，渗层中的Y含量随共渗温度的升高增加显著，而随共渗时间的延长增加缓慢．