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文章采用射频磁控溅射法在氧化铟锡(indium-tinoxide,ITO)玻璃衬底上制备了钛酸镧锂(1ithiumlanthanumtitanate,LLTO)薄膜,并在氩气中经100、200、300℃退火2h。对薄膜的形貌、结构、离子电导率和光电性能进行测试。结果表明,室温下制备的LLTO薄膜为非晶态,随着退火温度的升高,薄膜的离子电导率和可见光透过率均随之升高,经300℃氩气气氛退火后,薄膜的离子电导率为5.0×10-6S/cm,可见光平均透过率为89%。