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文章通过改变化学剥离过程中的单一影响因子,即氧化剂的添加量、氧化时间的长短、快速热剥离温度的大小、热剥离时间的长短、超声剥离功率的大小和超声玻璃时间中的单一因子,保持其他因子不变,考察改变单一因子时对产物质量的影响,通过热膨胀体积以及剥离后的FETEM图像来确定此方法中的最优工艺参数。最终确定参数氧化剂添加量、氧化时间、快速热膨胀温度及时间和超声剥离功率及时间的最优值分别为：45 g、100 h、1000℃、30 s、150 W和30 min。