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离子束溅射法制备Ti—Ni贮氢薄膜的研究
离子束溅射法制备Ti—Ni贮氢薄膜的研究
来源 :金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jackluyl
【摘 要】
:
介绍了用离子束溅射制备贮氢薄膜的方法。采用钛板与镍板拼合靶制备的Ti—Ni薄膜为非晶态,具有良好的附着力和抗粉化能力,而晶化后的贮氢性能更好。
【作 者】
:
张允什
胡伟康
【机 构】
:
南开大学,南开大学
【出 处】
:
金属学报
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
溅射
贮氢薄膜
钛镍合金
sputtering
hydrogen storage
Ti-Ni alloy film
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介绍了用离子束溅射制备贮氢薄膜的方法。采用钛板与镍板拼合靶制备的Ti—Ni薄膜为非晶态,具有良好的附着力和抗粉化能力,而晶化后的贮氢性能更好。
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