【摘 要】
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伴随激光清洗的工业需要，对材料表面清洗前后的清洁度评价提出了新的要求。本文提出使用表面粗糙度测量的双向反射技术来表征材料表面质量，以自相关长度T与表面粗糙度均方根偏差σ作为表征样品表面质量的关键参数。基于Beckmann-Kirchhorff散射积分模型，在粗糙表面上进行合理的简化后，我们将入射光强（I0）与反射光强（Is）比值（Is/I0）对波长平方分之一（1/λ~2）作图。在简化模型下，g值比
【机 构】
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中国科学院大连化学物理研究所分子反应动力学国家重点实验室
【基金项目】
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国家重点研发计划项目（2017YFB1105000）；
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伴随激光清洗的工业需要，对材料表面清洗前后的清洁度评价提出了新的要求。本文提出使用表面粗糙度测量的双向反射技术来表征材料表面质量，以自相关长度T与表面粗糙度均方根偏差σ作为表征样品表面质量的关键参数。基于Beckmann-Kirchhorff散射积分模型，在粗糙表面上进行合理的简化后，我们将入射光强（I0）与反射光强（Is）比值（Is/I0）对波长平方分之一（1/λ~2）作图。在简化模型下，g值比较大的垂直入射方向可以获得比较理想的线性曲线。通过线性拟合获得参数σg，可以作为表面清洁度表征值。实验中，使用一束（氙灯）白光以垂直的角度照射到钛合金板材TA15样品表面后，收集样品表面镜面反射出的光束。实验结果证实了样品表面质量与σg值大小的相关性。本方法是无接触式的光谱探测方法，可以实现高速扫描，方便快捷，可以用于实际工作在线判断激光清洗清洁度。
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