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薄膜参数测定新方法
薄膜参数测定新方法
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jianghladros
【摘 要】
:
该方法的特点是一次测量可确定两种波长下薄膜的三个光数:折射率、吸收系数、厚度,并可利用两种波长下所测薄膜厚度必须相等检验测量结果的正确性。
【作 者】
:
谷晋骐
韩丽英
【机 构】
:
天津大学应用物理系,清华大学现代应用物理系
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
薄膜
光学参数
测定
Thin film
Optical parameter.
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该方法的特点是一次测量可确定两种波长下薄膜的三个光数:折射率、吸收系数、厚度,并可利用两种波长下所测薄膜厚度必须相等检验测量结果的正确性。
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