调整光学方法用于纳米级测量

来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunna2005
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在纳米尺度范围内,一些我们熟悉的材料特性会改变。因此随着向纳米领域探索的深入,不仅要表征新材料,而且越来越需要对熟知的材料进行研究。
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