【摘 要】
：
Al化学机械抛光是实现28 nm高k金属栅器件集成电路的关键制程,采用田口方法设计正交实验,主要研究了碱性抛光液对Al合金抛光特性的作用。围绕抛光液组分进行实验。结果表明,
【基金项目】
：
国家中长期科技发展规划02科技重大专项资助项目(2009ZX02308)
论文部分内容阅读
Al化学机械抛光是实现28 nm高k金属栅器件集成电路的关键制程,采用田口方法设计正交实验,主要研究了碱性抛光液对Al合金抛光特性的作用。围绕抛光液组分进行实验。结果表明,有机胺碱体积分数为1.5%,螯合剂体积分数为0.5%,硅溶胶磨料体积分数为15%,活性剂体积分数为0.3%,氧化剂H2O2体积分数为1%时表面粗糙度最低,同时抛光液组分中活性剂体积分数在化学机械抛光过程中对Al合金表面粗糙度影响最为显著。通过优化抛光液组分配比,化学机械抛光后Al合金表面粗糙度可降到1.81 nm(10μm×10μm)。在最佳配比,即pH值为10.51时的抛光液与传统三酸抛光液进行对比实验,Al表面粗糙度明显低于传统三酸抛光液,抛光后Al表面无划伤、无蚀坑,达到了较好的抛光效果。
其他文献
概述了锰矿资源的贮量、分布、产量和产品在各行业的应用,对电池工业中使用的天然二氧化锰、合成二氧化锰、四氧化三锰和硫酸锰等锰系材料的生产、质量及应用情况进行了分析,
从河北省交通运输厅港航局获悉．2012年前11个月河北省港口固定资产投资完成181．6亿元．完成年计划的113．5％．投资额居全国沿海省份第一位。
兵地横向府际关系改革是当前我国府际关系研究中亟待解决的一个重要课题。本文从公共价值、制度机制和政策执行等方面分析了兵地横向府际关系改革中存在的困境,并提出了相应
为减少农药喷雾作业对人体造成的化学损害,该研究以雷沃高地隙喷杆喷雾机为平台,基于GNSS开发了自动导航作业系统,实现喷雾机在极少人工干预情况下的自动导航作业。通过对平
据2009年7月18日，山东省菏泽市举办2009首届“赛耐克”杯电动车文明交通菏泽形象大使选拔赛。
2010年9月10日,众多中国自行车运动爱好者见证了中国体育历史上又一个激动人心的时刻：中国有史以来最大规模、最具影响力的国际自行车赛事——2010环中国国际公路自行车赛在古
北京市已于近日正式对电动自行车“解禁”。相关部门同时发出通知：电动自行车的废旧蓄电池必须由经销商回收，哪个厂家的回收率不达标，其产品将不能在北京销售。
在过去的4～5年里，日本电动自行车市场的转型已经大部分稳定了。2004年是一个转折点，制造商开始从镍氢电池转到锂离子电池，因为后者有更大的电池容量，锂离子电池电动自行车的产量比
天津市红桥区三条石街社区卫生服务中心主任孙艳勋．在卫生行业一干就是37年．算得上是一名老兵了。先后带领4所拆迁、合并的医院从动荡的低谷．一步一步跨入发展的行列．熟悉他的人
根据光子晶体理论在微波波段的应用,提出了一种新型的50Ω-PBG结构的微带线.该结构是同时在金属导带和金属接地板上刻蚀周期性的矩形孔形成的.由于采用了导带PBG结构和接地板