【摘 要】
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一、显微硬度的动向近年来,迅速发展的电子工业使电子元件逐年小型化、轻量化和高性能化,其厚度在0.4μm以上。于是显微硬度在质量管理上显得十分重要。例如,在集成电路和大
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一、显微硬度的动向近年来,迅速发展的电子工业使电子元件逐年小型化、轻量化和高性能化,其厚度在0.4μm以上。于是显微硬度在质量管理上显得十分重要。例如,在集成电路和大规模集成电路方面的应用是不必说的,其它如在通信仪器材料的
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