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分别以Zn粉和S粉为原材料，Ga为掺杂剂，Au纳米颗粒为催化剂，采用低温化学气相沉积法（CVD），在Si（100）衬底上制备了Ga掺杂的ZnS纳米结构。利用X射线衍射仪（XRD）、能量弥散X-ray谱（EDS）、场发射扫描电子显微镜（SEM）和光致发光光谱（PL）等测试手段对样品的结构、成分、形貌和发光性能进行了分析。结果表明：随着温度的升高（450—550℃），Ga掺杂ZnS纳米结构的形貌发生了从蠕虫状纳米线到光滑纳米线再到纳米棒的演变，所制备的Ga掺杂的ZnS纳米结构均为六方纤锌矿结构，分别在波长为3