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为提高白光干涉轮廓仪的测试效率,提出了一种空间扫描范围自适应规划方法。构建了相应的测试系统,选择能量梯度函数用于系统最佳干涉位置的定位。使用ViBe算法对最佳干涉位置处电荷耦合元件(CCD)图像中的干涉条纹进行提取,并对提取结果进行二值化处理。实验结果表明,该方法能够准确识别扫描上下限位置。
白光干涉轮廓仪空间扫描范围自适应规划方法
【摘 要】
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为提高白光干涉轮廓仪的测试效率,提出了一种空间扫描范围自适应规划方法。构建了相应的测试系统,选择能量梯度函数用于系统最佳干涉位置的定位。使用ViBe算法对最佳干涉位置处电荷耦合元件(CCD)图像中的干涉条纹进行提取,并对提取结果进行二值化处理。实验结果表明,该方法能够准确识别扫描上下限位置。
【机 构】
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中国民航大学中欧航空工程师学院
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2017年06期
【基金项目】
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基金项目：国家自然科学基金委员会与中国民用航空局联合资助项目（U1633101）、国家自然科学基金（51205397）、中央高校基本科研业务费中国民航大学专项资助项目（3122014H004）
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