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测量高温、高压、强振动等恶劣环境下的压力,薄膜压力传感器具有不可替代的优势。结合薄膜传感器特点,设计全焊接式一体化结构,应用先进的焊接方法与焊接工艺进行传感器结构封装,可获得长期恶劣环境下应用的高可靠薄膜高压传感器。
薄膜高压传感器焊接封装技术研究
【摘 要】
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测量高温、高压、强振动等恶劣环境下的压力,薄膜压力传感器具有不可替代的优势。结合薄膜传感器特点,设计全焊接式一体化结构,应用先进的焊接方法与焊接工艺进行传感器结构
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所,薄膜传感技术湖南省国防科技重点实验室
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2020年3期
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