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根据目前我们进行半导体专用设备中机械结构设计时的主要思维特点,将产品方案的设计方法概括为系统化、结构模块化、基于产品特征知识和智能化四种类型,并总结出这四种方法的特点及其相互间的联系,提出半导体专用设备产品方案设计计算机实现的努力方向和发展前景。
半导体专用设备中机械结构的方案设计及发展前景
【摘 要】
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根据目前我们进行半导体专用设备中机械结构设计时的主要思维特点,将产品方案的设计方法概括为系统化、结构模块化、基于产品特征知识和智能化四种类型,并总结出这四种方法的
【机 构】
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上海微高精密机械工程有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年10期
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