氯化氢液相取样器

来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qiuzhiye51

【摘要】

：

<正> 前言超大规模集成电路使用的高纯氯化氢,要求分析并控制其液相中N_2、O_2、H_2O、CO_2总烃及金属元素杂质的含量。氯化氢液体在常温下平衡压力为5.2MPa,1ml氯化氢液体气

【作者】

：

彭淑娟刘玉璿张文职

【机构】

：

化工部光明化工研究所,化工部光明化工研究所

【出处】

：

低温与特气

【发表日期】

：

1990年3期

【关键词】

：

氯化氢液相取样器高纯气体

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<正> 前言超大规模集成电路使用的高纯氯化氢,要求分析并控制其液相中N_2、O_2、H_2O、CO_2总烃及金属元素杂质的含量。氯化氢液体在常温下平衡压力为5.2MPa,1ml氯化氢液体气化,体积膨胀约700倍。它在大气中允许的最高浓度为5ppm,所以,为了对氯化氢液相取样,必须有相应的耐压、耐腐蚀、不

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