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采用非平衡态分子动力学方法计算了平均温度为300K时膜厚2.2~104.4nm的硅纳米薄膜以及掺锗的硅纳米薄膜的法向热导率.采用随机掺杂方式在硅纳米薄膜中掺入锗原子，掺杂浓度分别为5%和50%.模拟结果表明，相同膜厚的掺锗硅薄膜的法向热导率比纯硅薄膜的法向热导率小很多，掺杂前后的硅薄膜法向热导率均随着膜厚的增大而增大.通过计算体态硅热导率关于声子平均自由程的累积函数，发现对体态硅热导率主要贡献是声子平均自由程为2.2000nm的声子，而掺锗的体态硅中对热导率贡献约占80%的声子平均自由程为0.1~30nm