【摘 要】
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磁控反应溅射中的电压波动是行业中普遍公认的难点,我们将PLC逻辑控制与先进的模糊控制结合,建立模糊逻辑,根据理论及实践经验自行设计专家系统判断程序,根据内置的逻辑判断
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磁控反应溅射中的电压波动是行业中普遍公认的难点,我们将PLC逻辑控制与先进的模糊控制结合,建立模糊逻辑,根据理论及实践经验自行设计专家系统判断程序,根据内置的逻辑判断及数据计算动态调整磁控反应溅射的电压——流量对应关系,减轻人为因素对产品质量造成的影响。这是一套磁控反应溅射电压控制的通用程序,在氮化铝反应溅射使用中电压的稳定性由目前行业中的波动±10V减低到了±1V,解决了氮化铝反应溅射电压波动大的难题,保证了生产的稳定。
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