微型气相色谱柱芯片研究进展

来源 :传感器与微系统 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jsjfyy

【摘要】

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微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速地定性和定量分析.微型气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一,决定了其分离性能的好坏.微机电系统(MEMS)技术的发展为制造微型气相色谱柱芯片提供了有效的加工技术、可灵活选择的衬底材料,甚至可以通过MEMS技术制备均匀的固定相,从而获得具有更好分离性能的微型气相色谱柱芯片.综述了近年来基于MEMS技术的微型气相色谱柱芯片的研究进展,内容主要涉及微型气相色谱柱芯片的微沟道加工技术、柱内结构、芯片衬底材料以及固定相的制备方法等方面.

【作者】

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张海燕赵斌曹可李磊郑丹冯飞

【机构】

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上海应用技术大学化学与环境工程学院,上海201418;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海20

【出处】

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传感器与微系统

【发表日期】

：

2022年3期

【关键词】

：

气相色谱微机电系统微型气相色谱柱芯片

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