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氮化锆薄膜腐蚀和摩擦性能的研究
氮化锆薄膜腐蚀和摩擦性能的研究
来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangtantan121212
【摘 要】
:
采用磁控溅射沉积在金属或玻璃基体表面上的氮化锆薄膜,具有良好的抗腐蚀和耐摩擦性能,摩擦系数小,显微硬度高达2195k/mm^2,是一种性能优良的功能薄膜材料。
【作 者】
:
郭信章
尹万里
于凤勤
阎军
孙希桐
【机 构】
:
北京市太阳能研究所,北京航空航天大学
【出 处】
:
太阳能学报
【发表日期】
:
1993年4期
【关键词】
:
氮化锆薄膜
腐蚀
摩擦
薄膜
ZrN thin film
corrosion
friction
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采用磁控溅射沉积在金属或玻璃基体表面上的氮化锆薄膜,具有良好的抗腐蚀和耐摩擦性能,摩擦系数小,显微硬度高达2195k/mm^2,是一种性能优良的功能薄膜材料。
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