氮化锆薄膜腐蚀和摩擦性能的研究

来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangtantan121212
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采用磁控溅射沉积在金属或玻璃基体表面上的氮化锆薄膜,具有良好的抗腐蚀和耐摩擦性能,摩擦系数小,显微硬度高达2195k/mm^2,是一种性能优良的功能薄膜材料。
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