用能量色散X射线荧光光谱法非破坏测定合金薄膜的组份

来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sss03157017633
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一、引言最近十几年来,能量色散x射线荧光光谱法已得到了广泛的应用,用x射线荧光光谱方法非破坏测定合金薄膜组份的工作也取得了很大的进展。本文列举的数据说明以滤纸片标样和强度比技术相结合,用能量色散谱仪对合金薄膜组份进行非破坏测定,其结果与用波长色散谱仪所获结果一致,同样能得到准确与精密的结果。 I. INTRODUCTION Energy dispersive x-ray fluorescence spectrometry has been widely used in recent ten years. Great progress has been made in the non-destructive determination of alloy thin film components by x-ray fluorescence spectrometry. The data presented in this paper demonstrate that non-destructive determination of alloy thin film components by energy dispersive spectroscopy in combination with filter paper standard and intensity ratio techniques results consistent with the results obtained with wavelength dispersive spectroscopy and is equally accurate Sophisticated results.
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