【摘 要】
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蓝宝石图形衬底可以降低外延位错密度并增强背散射光,已经成为制备高亮LED有效技术手段。本研究运用时域有限差分（FDTD）法模拟和比较了GaN基微纳米图形衬底LED几种衬底图形结构
【机 构】
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华中科技大学光学与电子信息学院,武汉科技大学理学院
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蓝宝石图形衬底可以降低外延位错密度并增强背散射光,已经成为制备高亮LED有效技术手段。本研究运用时域有限差分（FDTD）法模拟和比较了GaN基微纳米图形衬底LED几种衬底图形结构对光的提取效率的影响。模拟结果显示纳米图形衬底（NPSS）对光效的提高明显优于微米图形衬底（MPSS）。在对圆柱、圆孔、圆台、圆锥和曲面锥等纳米结构的研究中,圆台柱结构的纳米图形衬底对光提取效果最好。通过进一步模拟优化,得到圆台结构的最佳参数,此时相对于普通衬底LED光的提取效率提高了96.6%。试验中,采用软模压印技术在蓝宝石基
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