【摘 要】
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利用电子显微镜中的电子束对铜的薄膜样品进行了连续的照射和跟踪观察 ,结果发现 ,Cu在氧化过程中首先出现的是一层非晶膜 ,这层非晶膜在电子束的照射下转变成了Cu的晶体氧化
【机 构】
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华南理工大学应用物理系!广东广州510640,华南理工大学应用物理系!广东广州510640,中国科学院金属研究所固体原子象开放实验室!辽宁沈阳110015,中国科学院金属研究所固体原子象开放实验室!辽
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利用电子显微镜中的电子束对铜的薄膜样品进行了连续的照射和跟踪观察 ,结果发现 ,Cu在氧化过程中首先出现的是一层非晶膜 ,这层非晶膜在电子束的照射下转变成了Cu的晶体氧化物 .AES和HREM分析结果表明 ,Cu表面出现的这层非晶膜 ,它的主要成分为Cu和O ,在铜的氧化过程中起着一种氧化界面的作用 .也就是说 ,Cu的氧化要经历两个阶段 ,首先是Cu与O结合形成非晶膜 ,接着非晶膜在适当的时候转变为铜的晶态氧化物 .
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