镀镍零部件真空扩散堵漏钎料的研究

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针对真空电子器件中容易漏气的镀镍零部件,研制成功了三种镓基堵漏钎料。应用扫描电镜、能谱分析仪、微观硬度仪分析三种堵漏钎料形成的扩散接头,并进行了不同扩散温度下的对比试验。结果表明:三种钎料均能与镀镍不锈钢形成良好的扩散接头,接头可达到气密性要求(QL〈5×10-9 Pa·m3/s);在三种钎料中,Ga-15In钎料与镀镍不锈钢的互扩散效果最佳,Ga-15In钎料在650℃与镀镍不锈钢互扩散效果达到最佳。
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