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针对短小零件直线度的高精度测量,提出利用机器视觉与光学放大的方法。通过获取零件边缘图像,提取坐标,评定直线度误差值。针对边缘图像的特征,提出了利用改进的算法提取边缘,利用自标定方法进行系统标定。通过采取不同提取点数的对比试验结果表明,该方法不仅具有较高的测量精度,并且对于测量点数的选择具有指导意义。