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设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器，并采用硅一玻璃静电键合、ICPT艺释放等技术完成T-维加速度传感器的加工。测试结果表明：该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致．线性度较好，交叉干扰较小。x、l，方向的灵敏度分别为58．3mV／gn、55．6mV／gn；线性相关系数分别为0．9968、0．9961，交叉灵敏度分别为6．17％、7．82％。