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介绍了一种高精度接触式电感定位传感器,它集光机电技术于一体.传感器测头接触到被测表面后,当接触测量力达到设定值时,测头发出准确的定位信号.对传感器进行了定位重复性测量,其3倍标准偏差
接触式定位控制传感器的研究
【摘 要】
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介绍了一种高精度接触式电感定位传感器,它集光机电技术于一体.传感器测头接触到被测表面后,当接触测量力达到设定值时,测头发出准确的定位信号.对传感器进行了定位重复性测
【机 构】
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中国计量科学研究院
【出 处】
：
计量学报
【发表日期】
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2004年期
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